2022/09/14 06:22:48
聯毅的維修能量強，平均維修時間21天，急件可縮短至7天，機械手臂電路板、馬達及各種傳動組件都可處理。晶圓廠新手的比重增多，聯毅以近20年製程設備經驗，協助客戶上下機、排除軟硬體棘手問題，甚至為工程師解決製程問題，一條龍服務很受歡迎。
聯毅科技總經理林仲章。翁永全／攝影
聯毅強大的機電能力，從手臂維修衍生多元服務，推出應用在手臂以避免無預警停機的故障預警系統。林仲章說，臨時失效導致前後段製程晶片損壞，加上耗材及停產，損失可能高達數百萬，預警系統廣泛使用，逐漸成為標配。聯毅為製程設備客製設計外掛式監控系統，讓操作更加完善，優化監控分析。林仲章坦言，這項服務利潤不高，但確實幫了客戶大忙也提升了企業形象。
聯毅發展代理業務也相當成功，引進用在曝光機的微量氣體偵測監控系統，以及晶圓抓取pad防止滑片。
沉積、蝕刻及擴散等黃光製程，會使用大量光阻液及特用化學品，成分中的甲烷、氨類等敏感物質會形成二氧化硫、醋酸及鹽類，有些是具危險性物質，並損及良率。美國picarro公司為曝光機黃光製程推出微量氣體偵測監控系統，避免因微量的有機ipa、acetone、pgmea、d6 siloxane及無機nh3、hf、hcl、so2氣體濃度影響良率，甚至造成整批晶圓報廢。聯毅2020年引進後，持續擴大滲透率，業界記取教訓，避免再度發生損失上億元的憾事。
聯毅去年引進晶圓抓取pad防止滑片，結構中高達1億個納米尺寸墊子，具備超高摩擦係數，機械手臂在快速作業時以高抓取率降低滑片及晶圓報廢率，提高產能。傳統o型環使用年限3個月，pad壽命超過3年，且耐高溫，不會有聚合物沉積，已導入12吋廠。
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