atm-105應用機型：
kla_op2000、thermawave、august 量測機台
atm-107應用機型：
kla_tencor量測機台
atm-107b應用機型：
asti_sorter
wtm-107b應用機型：
ipec_cmp_776、momentum_r1&r2
| 型式 | repair | overhaul | exchange |
| atm-105 |  | | |
| atm-107 | | | |
| atm-107b | | | |
| wtm-107 | | | |
atm-105應用機型：
kla_op2000、thermawave、august 量測機台
atm-107應用機型：
kla_tencor量測機台
atm-107b應用機型：
asti_sorter
wtm-107b應用機型：
ipec_cmp_776、momentum_r1&r2
| 型式 | repair | overhaul | exchange |
| atm-105 | | | |
| atm-107 | | | |
| atm-107b | | | |
| wtm-107 | | | |