atm-204應用機型：
lam_autoload
atm-205應用機型：
kla_quantox xp
atm-207應用機型：
kla_tencor 量測機台
abm-205應用機型：
ipec_cmp_776、momentum_r3
| 型式 | repair | overhaul | exchange |
| atm-204 |  | | |
| atm-205 | | | |
| atm-207 | | | |
| abm-205 | | | |
atm-204應用機型：
lam_autoload
atm-205應用機型：
kla_quantox xp
atm-207應用機型：
kla_tencor 量測機台
abm-205應用機型：
ipec_cmp_776、momentum_r3
| 型式 | repair | overhaul | exchange |
| atm-204 | | | |
| atm-205 | | | |
| atm-207 | | | |
| abm-205 | | | |